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某某機械軸承科技有限公司

湖州防潮性強真空鍍膜公司

* 來源: * 作者: * 發表時間: 2021-04-18 5:49:43 * 瀏覽: 2

PVD電鍍由于鍍膜時真空度較高,使鍍層針孔少、膜質均勻致密、純度高,對制作超導膜及光學膜特別有利    射頻放電離子鍍優點:①蒸發、離化、加速三種過程分別獨立控制,離化靠射頻激勵,而不是靠加速直流電場,基板周圍不產生陰極暗區。②工作壓力低,成膜質量好。③基板溫度較低,較容易控制。其不足是:由于真空度高,繞射性較差;要求頻率源與電極之間需有匹配箱,并隨鍍膜參數變化而調節;蒸發源與頻率源之間易產生干擾;射頻對人體有害,需加防護。。

電鍍從蒸鍍材料方面來講,蒸發源應能夠蒸鍍Al、Ti、Fe、Co、Cr及其合金,以及Si0、Si02、MgF、ZnS等。

真空鍍膜當壓力變化值在0.5h內不超過5%時,取測量表讀數z*高值為極限壓力值,且鍍膜室內各旋轉密封部位處于運動狀態   ?。?)抽氣時間的測定   ?、僭囼灄l件:同極限壓力測定的試驗條件之a、b、c、d?!   、跍y試方法:設備在連續抽氣條件下,在鍍膜室內達到極限壓力之后,打開鍍膜室15min,再關閉鍍膜室對其再度抽氣至表10-31中所規定的壓力值所需的時間,定為該設備的抽氣時間?!   。?)升壓率測定   ?、僭囼灄l件:同極限壓力測定?!   、跍y試方法:設備在連續抽氣24h之內使鍍膜室內達到穩定的z*低壓力之后,關閉與鍍膜室相連接的真空閥,待鍍膜室壓力上升至P1(1Pa)時,開始計時,經1h后記p2,然后按下式計算升壓率:。

五金電鍍表10-23給出了各種化合物薄膜形成方式,成膜條件、膜的特點及用途。

五金烤漆    這種蒸發源的特點是:   ?、僬舭l速率大在鋁淀積厚度為40nm時,卷繞速度可達270m/min,比電阻熱源大10倍左右?!   、谡舭l源溫度均勻穩定,不易產生鋁滴飛濺現象??杀苊怃X滴淀積在薄膜上產生針孔現象。所以采用感應加熱方法生產金銀絲的成品率亦相應提高?!   、壅舭l源一次裝料,無需送絲機構,溫度控制比較容易,操作比較簡單?!   、軐δげ募兌纫蟮?。一般真空感應加熱用99.9%純度的鋁,而電阻加熱要求鋁的純度為99.99%。所以生產成本亦可降低?!   。?)感應加熱式蒸發源的結構    日本真空株式會社(ULVAC)生產的EW系列卷繞式高真空鍍膜機中用的感應加熱式蒸發源結構,如圖10-8所示。電源為高頻發電機組,電壓450V,頻率為9727Hz。

圖10-9給出的是從一個小平面s到與s平面相平行的基片上的蒸發情況。

    電弧離子鍍的原理是基于冷陰極真空弧光放電理論提出的該理論認為放電過程的電量遷移是借助于場電子發射和正離子電流這兩種機制同時存在且相互制約而實現的。在放電過程中,陰極材料大量蒸發,這些蒸氣分子所產生的正離子在陰極表面附近很短的距離內產生極強的電場,在這樣強的電場作用下,電子產生ldquo,場電子發射,而逸到真空中去,其發射的電流密度Jc表達式為    而正離了流可占總的電弧電流的10%左右,但在理論計算上尚存在一定難度,還不能夠確切地建立和求解陰極弧光輝點內的質量、能量和電量的平衡關系?!   ‰娀》ㄉ婕暗綇年帢O弧光輝點放出的陰極物質的離子。陰極弧光輝點是存在于極小的空間的高電流密度高速變化的一種現象,其機理尚不完全清楚。按J.E.Daolder的解釋,能較好地利用圖10-23說明這一現象?!   、俦晃疥帢O表面的金屬離子形成空間電荷層。由此產生強電場使陰極表面上功函數小的點(晶界或微裂紋)開始發射電子?!   、趥€別發射電子密度高的點產生高密度的電流,該電流產生的焦耳熱使該點溫度上升而進一步發射熱電子。這種反饋作用使電流局部集中?!   、塾捎陔娏骶植考挟a生的焦耳熱使陰極材料在此局部產生爆發性的等離子化而發射電子和離子,然后留下放電痕。

  表10-7給出了適于蒸發各種元素的蒸發源材料。

電阻加熱、高頻加熱、電子束加熱方式各有特點,其性能比較見表10-3。

    這種槍的水冷坩堝和聚焦線圈的放置與e型槍不同,它不是放到槍體上,而是放置在與槍中心線成一定角度和一定距離的真空室殼體上為了使槍與真空室殼體之間具有較大的距離,消除金屬濺射和金屬蒸氣對空心陰極的污染,以及防止電接頭和冷卻器對室壁起弧,目前多采用水平放置。。

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